ESA25-D
荏原ESA25-D真空泵是日本荏原制作所研發(fā)的高性能干式真空泵,具有以下特點:
核心技術(shù)特性
無油設(shè)計:泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì),避免油污染,適用于半導(dǎo)體、制藥等對潔凈度要求高的行業(yè)1
2
。
耐腐蝕性:采用不銹鋼或陶瓷涂層等特殊材料,可耐受酸性氣體和有機溶劑3
。
高效節(jié)能:集成變頻調(diào)速系統(tǒng),根據(jù)負載動態(tài)調(diào)節(jié)電機功率,能耗降低20%以上3
。
智能監(jiān)控:實時監(jiān)測溫度、振動等參數(shù),結(jié)合物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)實現(xiàn)遠程故障預(yù)警和維護提示