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工作原理

• 羅茨泵原理：通過兩個(gè)同步反向旋轉(zhuǎn)的“8字形”轉(zhuǎn)子非接觸嚙合，將氣體從進(jìn)氣口推向排氣口，實(shí)現(xiàn)氣體輸送1。

• 多級設(shè)計(jì)：多個(gè)羅茨泵級串聯(lián)，逐步提高真空度，實(shí)現(xiàn)更高的壓縮比和極限真空（通常可達(dá)10?? mbar范圍）1。

主要特點(diǎn)

• 干式運(yùn)行：無需油潤滑，避免油污染，適合潔凈工藝13。

• 高抽速：羅茨泵結(jié)構(gòu)提供大流量抽氣能力，適合快速抽除大量氣體1。

• 耐腐蝕設(shè)計(jì)：可選特殊涂層或材質(zhì)，應(yīng)對腐蝕性氣體1。

• 低振動(dòng)與噪音：精密動(dòng)平衡轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，適合對振動(dòng)敏感的環(huán)境1。

• 集成控制系統(tǒng)：通常配備智能控制器，監(jiān)測轉(zhuǎn)速、溫度、壓力，并可聯(lián)鎖保護(hù)。

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