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JGH-600A

沈科儀JGH-600A真空泵是由沈陽科學(xué)儀器股份有限公司研發(fā)的高端設(shè)備，結(jié)合了羅茨與爪型轉(zhuǎn)子的吸氣原理，通過多級轉(zhuǎn)子的優(yōu)化組合，能夠在較寬的壓力范圍內(nèi)實現(xiàn)較大的實際抽速，高效地獲得潔凈的真空環(huán)境。以下是其詳細(xì)介紹：

核心優(yōu)勢

  • 高清潔度：適用于對潔凈度要求高的工藝，如集成電路、太陽能電池等。

  • 高可靠性：整機(jī)設(shè)計穩(wěn)定，運轉(zhuǎn)性能可靠。

  • 智能控制：具備自適應(yīng)智能控制功能，提升工藝安全性。

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 重點應(yīng)用：集成電路、太陽能電池、LED領(lǐng)域，可用于裝載腔、傳輸腔等清潔工藝過程，也可用于PVD、刻蝕、多種CVD等一般制程工藝或苛刻制程工藝過程。

  • 其他應(yīng)用：真空冶金（回火和退火、鋼脫氣，表面處理熔化，精煉，鑄造和焊接等）；真空鍍膜系統(tǒng)（玻璃鍍膜、精密光學(xué)等）；真空包裝、食品、化工、醫(yī)藥、電機(jī)制造等工業(yè)蒸餾、蒸發(fā)、干燥等


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