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PS系列

二手漢鐘PS系列真空泵


氣體傳輸路徑最短，顯著減少反應(yīng)物沉積風(fēng)險

適用于含粉塵、易凝結(jié)氣體的嚴(yán)苛制程（如PECVD、蝕刻）

專利轉(zhuǎn)子線型設(shè)計：大嚙合間隙實現(xiàn)高密封性，提升抽氣效率

抗磨損優(yōu)勢：間隙設(shè)計降低因沉積物卡死轉(zhuǎn)子的概率，延長轉(zhuǎn)子壽命

單對轉(zhuǎn)子嚙合結(jié)構(gòu)：無中間隔板設(shè)計，避免沉積卡死風(fēng)險

快速拆裝維修：結(jié)構(gòu)單純化使故障排查和部件更換效率提升30%以上

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