ESR100WN
EBARA荏原ESR100WN真空泵是一種干式真空泵,具有無油污染、低維護(hù)成本、高效節(jié)能等特點(diǎn)1
。
主要特點(diǎn)
無油污染:運(yùn)行過程中不使用油或其他液體介質(zhì),避免了油蒸氣對工藝環(huán)境的污染,適用于半導(dǎo)體、制藥等對潔凈度要求高的行業(yè)1
。
低維護(hù)成本:無需定期更換油液或處理廢油,維護(hù)成本較低,且運(yùn)行更加可靠1
。
高效節(jié)能:采用先進(jìn)的設(shè)計和材料,具有較高的抽氣效率和能源利用率1
。
適應(yīng)性強(qiáng):能夠處理含有粉塵、顆?;蚋g性氣體的介質(zhì),適用范圍廣泛。